气体供应系统
一般而言可分为两类：大众气体、特殊气体
大众气体：N2 O2 Ar He H2,其主要是大量供应系统使用，因此大都使用槽车填充或大型容器更换，或大型机组直接产生气体方式等。
特殊气体：一般而言是使用于特殊气体及以钢瓶作为更换容器，可分类为
1.钝化气体
2.腐蚀性气体
3.易燃性气体
4.毒性气体
5.其他气体
特殊气体供应流程
一般而言是由厂务将钢瓶送上气瓶柜后，在经管路自行暂压24Hrs后无任何泄漏，钢瓶及王城供应状态随时可立即供应，当另以瓶已用完时可自动供应上线。气瓶柜大都为两支钢瓶组合，若为易燃性气体，则要求使用三支钢瓶之气瓶柜，且钢瓶必须要有一支为GN2钢瓶作为净化之用。
腐蚀性、有毒性以及易燃性气体气瓶柜本身必须有自动开关功能，由环境及排气管感应器去侦测是否有泄漏，如果有泄漏则直接去执行关闭供应端隔离阀，同事气瓶柜必须有安装排气系统及流量计去确认排气量是否足够，当排气量不足时，则会自动关闭供应端隔离阀。
